| 摘要 |
<p>본 발명의 카본 나노튜브 배향 집합체의 제조 장치는, 표면에 촉매를 갖는 기재 상에 카본 나노튜브 배향 집합체를 성장시키는 카본 나노튜브 배향 집합체의 제조 장치로서, 촉매의 주위 환경을 환원 가스 환경으로 함과 함께 촉매와 환원 가스와의 적어도 하나를 가열하는 포메이션 공정을 실현하는 포메이션 유닛과, 촉매의 주위 환경을 원료 가스 환경으로 함과 함께 촉매와 원료 가스의 적어도 하나를 가열하여 카본 나노튜브 배향 집합체를 성장시키는 성장 공정을 실현하는 성장 유닛과, 적어도 포메이션 유닛으로부터 성장 유닛까지 기재를 반송하는 반송 유닛을 갖는다. 이에 의해, 연속 제조에 있어서의 CNT 배향 집합체의 제조량 저하 및 품질 열화를 방지하는 동시에, 장치 대형화를 용이하게 하는 것으로, CNT 배향 집합체의 제조효율을 향상할 수 있는 제조 장치 및 제조 방법을 제공한다.</p> |
