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发明名称 A MOVING RAPID THERMAL ANNEALING APPARATUS FOR MANUFACTURING PRINTED FILM
摘要
申请公布号 KR20110112634(A) 申请公布日期 2011.10.13
申请号 KR20100031855 申请日期 2010.04.07
申请人 SNU R&DB FOUNDATION 发明人 JOO, YOUNG CHANG;LEE, JI HOON;KIM, NA RAE
分类号 H01L21/324;H01L21/027 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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