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发明名称 PARTICLE DETECTOR
摘要 <p>A particle detector for evaporation flux is disclosed. The particle detector includes a light source and at least one reflective surface.</p>
申请公布号 WO2011127370(A1) 申请公布日期 2011.10.13
申请号 WO2011US31720 申请日期 2011.04.08
申请人 FIRST SOLAR, INC.;BECK, MARKUS, E.;GREEN, ROGER;GARABEDIAN, RAFFI;MILSHTEIN, EREL;YU, MING, LUN 发明人 BECK, MARKUS, E.;GREEN, ROGER;GARABEDIAN, RAFFI;MILSHTEIN, EREL;YU, MING, LUN
分类号 C23C14/54;C23C14/52;G01N15/14 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
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