| 摘要 |
<p>본 발명은 (i) (a) 모스 경도가 8 이상인 제1 연마제 입자 5 내지 45 중량％, (b) 보다 작은 1차 입자들의 응집체를 포함하는 3차원 구조를 갖는 제2 연마제 입자 1 내지 45 중량％, 및 (c) 실리카를 포함하는 제3 연마제 입자 10 내지 90 중량％, 및 (ii) 액체 담체를 포함하는 연마 조성물을 제공한다. 본 발명은 또한 (i) 상기 연마 조성물을 제공하고, (ii) 표면을 갖는 기판을 제공하고, (iii) 연마 조성물로 기판 표면의 적어도 일부를 마모시켜 기판을 연마하는 단계를 포함하는, 기판의 연마 방법을 제공한다.</p> |
