申请人 |
DURTEC GMBH;INP GREIFSWALD LEIBNIZ-INSTITUT FUER PLASMAFORSCHUNG UND TECHNOLOGIE E. V. |
发明人 |
SCHOMBURG, JOACHIM, DR. RER. NAT.;SCHULTZ, CHRISTIAN, DR.;LOEFFLER, MARITA, DIPL.-ING.;WELTMANN, KLAUS-DIETER, PROF. DR.;MUELLER, SIEGFRIED, DR.;KRUEGER, TILA |