Mikroventil mit elastisch verformbarer Ventillippe, Herstellungsverfahren und Mikropumpe

摘要

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Mikroventil, das aus zwei fest verbundenen Substraten gebildet ist und vorzugsweise ein z. B. membrangetriebenes Aktorelement zum gesteuerten Öffnen und Schließen eines ersten und/oder zweiten Durchlasses aufweist. Weiterhin bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Herstellungsverfahren für ein solches Mikroventil sowie auf eine Mikropumpe, die mindestens ein derartiges Mikroventil verwendet. Diese Mikropumpe soll insbesondere im Zusammenhang mit der Entwicklung eines künstlichen Schließmuskels Verwendung finden. Das Mikroventil hat ein erstes Substrat und ein zweites Substrat, die miteinander unlösbar verbunden sind, um eine steuerbare Fluid-Fließstrecke auszubilden, und mindestens einen ersten Durchlass und mindestens einen zweiten Durchlass. Erfindungsgemäß weist das Mikroventil zum Abdichten des ersten und/oder zweiten Durchlasses mindestens eine elastisch verformbare Dichtstruktur auf, die beispielsweise durch ein photostrukturierbares Silikon gebildet sein kann.