V/I源表用可编程脉冲发生器

摘要

一种用于半导体器件专用自动化测试设备的V/I源表用可编程脉冲发生器，其功能和性能适合于半导体器件的电压、电流信号的驱动和检测，尤其适用于模拟器件测试系统中的功率参数测试。其特征是：所述的可编程脉冲发生器由CPLD硬件逻辑构成；该逻辑可对每一V/I源表通道的脉冲延迟时间和脉冲宽度进行设置；可编程脉冲通过模拟开关的允许端控制V/I源表通道的DAC信号的有效与否，进而控制V/I源表的输出与否；在相关可编程脉冲结束之前可自动启动该通道的ADC进行数据采样；可用软件全局指令同时启动多路V/I源表按事先设置好的要求协调工作。

主权项

一种用于半导体器件专用自动化测试设备的V/I源表可编程脉冲发生器，其特征是：V/I源表通道的CPLD(1)控制通道DAC(2)的电压实现对V/I源表的恒压和恒流输出，DAC的电压信号通过模拟开关(3)进入V/I源控制器(4)作为V/I源表的恒压或恒流的基准，并通过功率放大器(5)完成恒压、恒流输出(6)，同时通过反馈信号(7)实现V/I源表的闭环反馈,模拟开关(3)除了接受通道DAC(2)的电压信号外，其允许端EN还直接受CPLD(1)PLS脉冲控制信号(8)的控制，使进入V/I源控制器(4)的电压基准信号变成一个脉冲信号，从而实现了V/I源表的脉冲输出,V/I源表的CPLD(1)除了可以接受针对单路V/I源表通道的局部指令(11)完成各V/I源表通道的设置，也可分别对每一V/I源表可编程脉冲发生器独立进行脉冲延迟时间T1和脉冲宽度T2的设置，也全局指令下同时启动多路V/I源表可编程脉冲发生器同步协调工作,通道ADC(9)用于采集V/I源表的测压和测流信号，但其控制端受CPLD(1)AD片选信号ADCS(10)的控制，CPLD(1)的内部逻辑可以保证ADCS信号(10)发生在PLS脉冲控制信号(8)的结束之前，因此可以实现在V/I源表的电压或电流脉冲结束时自动完成ADC采样。