发明名称 |
对聚酯型聚氨酯泡沫基体进行磁控溅射镀膜的设备及方法 |
摘要 |
本发明涉及一种用于对聚酯型聚氨酯泡沫基体进行磁控溅射镀膜的设备和方法。其中,所述设备包括放卷辊、溅射靶和收卷辊,在溅射靶和放卷辊之间以及溅射靶和收卷辊之间设置有用于传送泡沫基体的传送装置,所述设备还包括设置在放卷辊和溅射靶之间的用于加热泡沫基体的至少一个热源。该热源用于在溅射前去除泡沫基体上的全部或绝大部分杂质,以提高溅射膜层的质量。这对于随后采用电镀及加热方法制备所需要的泡沫金属如泡沫镍具有重要意义。 |
申请公布号 |
CN102212791A |
申请公布日期 |
2011.10.12 |
申请号 |
CN201110147470.7 |
申请日期 |
2011.06.02 |
申请人 |
爱蓝天高新技术材料(大连)有限公司;爱蓝天高新技术材料(沈阳)有限公司 |
发明人 |
刘敏;于清;刘伟华;何奋;邵斌;李爽 |
分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/35(2006.01)I |
代理机构 |
北京市联德律师事务所 11361 |
代理人 |
易咏梅;刘永全 |
主权项 |
一种用于对聚酯型聚氨酯泡沫基体进行磁控溅射镀膜的设备,所述设备包括放卷辊(9)、溅射靶(1,2)和收卷辊(10),在溅射靶(1,2)和放卷辊(9)之间以及溅射靶(1,2)和收卷辊(10)之间设置有用于传送泡沫基体(5)的传送装置,其特征在于,所述设备还包括设置在放卷辊(9)和溅射靶(1,2)之间的用于加热泡沫基体(5)的至少一个热源(3,4)。 |
地址 |
116600 辽宁省大连市保税区IIIB-6 |