发明名称 一种大电流(ZK7000A)快恢复整流二极管的生产方法
摘要 被发明提供一种大电流(ZK7000A)快恢复整流二极管的生产方法,其主要工艺步骤如下:硅片清洗、三氯氧磷扩散、单面磨片、扩硼、套片、硅片蒸铝、钼元蒸金、烧结、芯片蒸金、合金、磨角、腐蚀、保护、电子辐照、退火。通过此生产方法,生产出体积小,元件的直径达到国内最小的(Φ48mm),元件的厚度(结片0.2mm),压降小而电流容量达7000A的快恢复整流二极管。
申请公布号 CN102214571A 申请公布日期 2011.10.12
申请号 CN201110148557.6 申请日期 2011.06.03
申请人 江苏威斯特整流器有限公司 发明人 陈建平
分类号 H01L21/329(2006.01)I 主分类号 H01L21/329(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种大电流(ZK7000A)快恢复整流二极管的生产方法,其特征在于:其工艺步骤如下:硅片清洗、三氯氧磷扩散、单面磨片、扩硼、套片、硅片蒸铝、钼元蒸金、烧结、芯片蒸金、合金、磨角、腐蚀、保护、电子辐照、退火。
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