| 发明名称 | 化学机械抛光设备 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种化学机械抛光设备，所述化学机械抛光设备包括：多个化学机械抛光机，所述多个化学机械抛光机分别用于抛光晶圆；机械手，所述机械手用于搬运晶圆；和过渡装置，所述过渡装置用于放置晶圆，其中所述多个化学机械抛光机和所述过渡装置围绕所述机械手布置以便所述机械手将所述过渡装置上的未抛光晶圆搬运到所述化学机械抛光机上且将抛光后的晶圆从所述化学机械抛光机搬运到所述过渡装置上且在所述多个化学机械抛光机之间搬运晶圆。根据本发明实施例的化学机械抛光设备具有工作效率高的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN102211311A | 申请公布日期 | 2011.10.12 |
| 申请号 | CN201110143089.3 | 申请日期 | 2011.05.30 |
| 申请人 | 清华大学 | 发明人 | 路新春;沈攀 |
| 分类号 | B24B37/00(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;B25J1/00(2006.01)I | 主分类号 | B24B37/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人 | 宋合成 |
| 主权项 | 一种化学机械抛光设备，其特征在于，包括：多个化学机械抛光机，所述多个化学机械抛光机分别用于抛光晶圆；机械手，所述机械手用于搬运晶圆；和过渡装置，所述过渡装置用于放置晶圆，其中所述多个化学机械抛光机和所述过渡装置围绕所述机械手布置以便所述机械手将所述过渡装置上的未抛光晶圆搬运到所述化学机械抛光机上且将抛光后的晶圆从所述化学机械抛光机搬运到所述过渡装置上且在所述多个化学机械抛光机之间搬运晶圆。 | ||
| 地址 | 100084 北京市海淀区100084-82信箱 | ||