基板传输装置

摘要

本发明为一种基板传输装置，包括一腔体、一设置在腔体外部的旋转轮、一设置在旋转轮上的第一磁铁、一设置在腔体内部的承载板、以及一设置在承载板上的第二磁铁。

主权项

一种基板传输装置，包括：一腔体；一旋转轮，该旋转轮设置在该腔体的外部；一第一磁铁，该第一磁铁设置在该旋转轮上；一承载板，该承载板设置在该腔体的内部，且安装于一滑轨的滑动部上，该滑轨的固定部则安装于该腔体上；一第二磁铁，该第二磁铁设置在该承载板上；以及一隔离板，该隔离板为非感磁性材料，设置在该第一磁铁与该第二磁铁间，且固定于该腔体，该隔离板的厚度设计为不影响第一磁铁与该第二磁铁之间的磁吸效应。