发明名称 |
沉积材料供应装置及包含所述沉积材料供应装置的基板处理装置 |
摘要 |
本发明涉及一种沉积材料供应装置及一种包含所述沉积材料供应装置的基板处理装置,所述沉积材料供应装置不使所述有机材料劣化的条件下储存大量有机材料并汽化所需量的所述有机材料至基板。所述沉积材料供应装置包含:槽,其中储存空间与汽化空间互相连通,所述储存空间填充有原材料,所述原材料于所述汽化空间中汽化;运送单元,用以连续地或周期性地运送填充于所述储存空间中的所述原材料至所述汽化空间;加热单元,设置于所述槽的所述汽化空间的外侧,用以供应使所述原材料汽化的热量;以及冷却单元,设置于所述储存空间的外侧,以防止储存于所述储存空间中的所述原材料出现热劣化。 |
申请公布号 |
CN102216488A |
申请公布日期 |
2011.10.12 |
申请号 |
CN200980146469.3 |
申请日期 |
2009.11.13 |
申请人 |
韩商SNU精密股份有限公司 |
发明人 |
尹亨硕;崔上和;孙成官;姜敞晧;权铉九;南宫晟泰;韩垧录 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
郭蔚 |
主权项 |
一种沉积材料供应装置,其特征在于,包含:槽,其中储存空间与汽化空间互相连通,所述储存空间填充有原材料,所述原材料于所述汽化空间中汽化;运送单元,用以连续地或周期性地运送填充于所述储存空间中的所述原材料至所述汽化空间;以及加热单元,设置于所述槽的所述汽化空间的外侧,用以供应使所述原材料汽化的热量。 |
地址 |
韩国首尔 |