发明名称 |
光学系统对心装调的装置和方法 |
摘要 |
本发明提出一种光学系统对心装调的装置和方法,所述光学系统对心装调装置包括自准直显微镜和具有空气轴承的转台,其中所述自准直显微镜的光轴与所述空气轴承的旋转轴精确对准,所述自准直显微镜包括照明模块,带刻丝的掩膜板,分光棱镜,调焦物镜组,显微物镜组,半透半反镜,测量分划板,CCD及显微目镜组,保证所述光学系统对心装调装置的偏心测量精度和镜片装调精度,所述转台用于放置被检透镜。本发明的对心装调装置提供一种自准直显微镜,将它运用到高精度定心仪中,它与高精度的空气轴承共同使用,能有效提高该定心设备的定心精度,以满足高精度光学系统镜片的装校要求。 |
申请公布号 |
CN101387761B |
申请公布日期 |
2011.10.12 |
申请号 |
CN200810200907.7 |
申请日期 |
2008.10.08 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
周辉 |
分类号 |
G02B27/62(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G02B27/62(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种光学系统对心装调装置,所述光学系统对心装调装置包括自准直显微镜和具有空气轴承的转台,其中所述自准直显微镜的光轴与所述空气轴承的旋转轴精确对准,其特征在于:所述自准直显微镜包括照明模块,带刻丝的掩膜板,调焦物镜组,显微物镜组,测量分划板,显微目镜组,所述转台用于放置被检透镜,所述自准直显微镜还包括CCD,显微目镜组为目视通道,CCD为光电通道,所述目视通道在调整方式时工作,所述光电通道在自动方式时工作,其中所述自准直显微镜还包括分光棱镜、半透半反镜,所述照明模块由反射聚光镜、灯泡和聚光透镜组成,用以发出平行光束,该光束照在带刻丝的掩膜板的平面上,从刻丝透过的光线经分光棱镜反射,通过调焦物镜组成像在被检透镜上,从被检透镜反射回的光线依次经过调焦物镜组,分光棱镜和显微物镜组,再经过半透半反镜分别进入目视通道或进入光电通道成像。 |
地址 |
201203 上海市张江高科技园区张东路1525号 |