发明名称 PIPING SYSTEM FOR PICK AND PLACE APPARATUS OF TEST HANDLER
摘要 <p>본 발명에 따른 테스트 핸들러의 픽앤플레이스장치 배관방식은 MFC 및 마이컴에 의해 패키지별 진공파기용 에어량을 자동제어하여 진공파기용 에어를 제어하는 픽앤플레이스장치의 배관방식은 종래의 픽앤플레이스장치의 배관방식에 비해, 배관 길이가 단축됨으로써 픽커 유닛이 단순화되며, 응답속도가 증가되고, 진공파기용 에어량의 자동조절로 사용자에게 편리성을 제공할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101073052(B1) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 KR20080137889 申请日期 2008.12.31
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L21/67;H01L21/68 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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