发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE WITH BURIED GATE
摘要
申请公布号 KR20110111730(A) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 KR20100030956 申请日期 2010.04.05
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 CHO, JIK HO;YEOM, SEUNG JIN;HONG, SEUNG HEE;LEE, NAM YEAL
分类号 H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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