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发明名称 MATERIAL FOR MANUFACTURING TARGETS FOR PHYSICAL VAPOUR DEPOSITION OF P-TYPE TRANSPARENT CONDUCTIVE FILMS
摘要
申请公布号 EP2373826(A1) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 EP20090764191 申请日期 2009.11.30
申请人 UMICORE 发明人 HUYBERECHTS, GUIDO;DREES, GRIET;GOEDEME, DAAN;NOLAN, MICHAEL;ELLIOTT, SIMON D.
分类号 C23C14/34;C01F11/02;C01G3/02 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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