发明名称 An inexpensive method of manufacturing an SOI wafer
摘要
申请公布号 EP0978872(B1) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 EP19980830476 申请日期 1998.08.03
申请人 STMICROELECTRONICS SRL 发明人 MASTROMATTEO, UBALDO;VILLA, FLAVIO;BARLOCCHI, GABRIELE
分类号 H01L21/316;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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