显微镜及显微镜自动对焦方法

摘要

本发明提供一种显微镜及显微镜自动对焦方法。显微镜，包括：光学系统，用于放大检体；调焦装置，用于调节光学系统的焦点，使其对焦于检体；光学探测器，用于探测通过光学系统的光线；测焦装置，用于在光学系统相对于检体振动时，根据探测到的透过该光学系统的光线，估测光学系统对检体的聚焦位置；以及控制器，根据测焦装置测定的对焦位置控制调焦装置。

主权项

一种显微镜，包括：用于放大检体的光学系统；用于将光学系统对焦该检体的调焦装置；用于探测透过该光学系统的光线的光学探测器；测焦装置，在上述光学系统相对于检体还在振动期间，根据光学探测器探测到的光线估测光学系统相对于检体的对焦位置；以及用于根据测焦装置测定的对焦位置控制调焦装置的控制器；其中，所述光学探测器包含二个光传感器，其中一个光传感器与所述光学系统之间的光程小于所述光学系统的对焦位置与所述光学系统之间的光程，另一个光传感器与所述光学系统之间的光程大于所述光学系统的对焦位置与所述光学系统之间的光程；所述测焦装置根据一个光传感器的信号计算第一估值，根据另一个光传感器的信号计算第二估值，然后根据所述第一估值和第二估值估测所述光学系统的对焦位置；所述测焦装置计算所述第一估值和所述第二估值之差的移动平均值，然后根据所述移动平均值估测所述光学系统的对焦位置。