发明名称 ELECTROLESS DEPOSITIONS FROM NON-AQUEOUS SOLUTIONS
摘要 A non-aqueous electroless copper plating solution that includes an anhydrous copper salt component, an anhydrous cobalt salt component, a non-aqueous complexing agent, and a non-aqueous solvent is provided.
申请公布号 KR20110112300(A) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 KR20117014064 申请日期 2009.12.10
申请人 LAM RESEARCH CORPORATION 发明人 NORKUS EUGENIJUS;JACIAUSKIENE JANE;DORDI YEZDI
分类号 H01L21/288;H01L21/28 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
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