发明名称 蓝宝石衬底片粗磨研磨液及其配制方法
摘要 本发明公开了一种蓝宝石衬底片粗磨研磨液,由碳化硼、水和悬浮液组成,碳化硼、水和悬浮液的重量比=2∶4∶1,所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成,分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比=2∶5∶1,所述分散剂为高分子有机醇,所述悬浮剂为高分子化合物,所述防锈剂为碱。本发明由于采用了上述技术方案,所得研磨液成本低,稳定性好,大大提高加工效率,使得晶片平整度大为提高。
申请公布号 CN102212334A 申请公布日期 2011.10.12
申请号 CN201110097782.1 申请日期 2011.04.19
申请人 浙江露笑光电有限公司 发明人 景旭斌
分类号 C09K3/14(2006.01)I 主分类号 C09K3/14(2006.01)I
代理机构 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 代理人 韩洪
主权项 蓝宝石衬底片粗磨研磨液,其特征在于:由碳化硼、水和悬浮液组成,碳化硼、水和悬浮液的重量比=2∶4∶1,所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成,分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比=2∶5∶1,所述分散剂为高分子有机醇,所述悬浮剂为高分子化合物,所述防锈剂为碱。
地址 311814 浙江省绍兴市诸暨店口镇露笑路38号