一种光学显微－原子力显微双探头成像装置

摘要

本实用新型公开了一种光学显微－原子力显微双探头成像装置。它包括原子力显微探头、光学显微探头、第一滑动块、第二滑动块、光学平台、Y向步进电控平移台、样品台、待测样品、第一固定块、第2固定块、第一支撑柱、第二支撑柱、支撑梁、X向步进电控平移台；原子力显微探头和光学显微探头分别固定在第一滑动块和第二滑动块上，然后安装在X向步进电控平移台上，X向步进电控平移台固定在支撑梁上，光学平台上依次安装有Y向步进电控平移台和样品台，以及由第一固定块、第2固定块、第一支撑柱、第二支撑柱、支撑梁构成的支撑架。本实用新型可以同时解决大范围的实时光学显微观察和局部的高分辨纳米结构和性能的观察和测量。

主权项

一种光学显微－原子力显微双探头成像装置，其特征在于包括原子力显微探头(1)、光学显微探头(2)、第一滑动块(3)、第二滑动块(4)、光学平台(5)、Y向步进电控平移台(6)、样品台(7)、待测样品(8)、第一固定块(9)、第2固定块(10)、第一支撑柱(11)、第二支撑柱(12)、支撑梁(13)、X向步进电控平移台(14)；原子力显微探头(1)和光学显微探头(2)分别固定在第一滑动块(3)和第二滑动块(4)上，然后安装在X向步进电控平移台(14)上，X向步进电控平移台(14)固定在支撑梁(13)上，光学平台(5)上依次安装有Y向步进电控平移台(6)和样品台(7)，以及由第一固定块(9)、第2固定块(10)、第一支撑柱(11)、第二支撑柱(12)、支撑梁(13)构成的支撑架。