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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTATES
摘要
申请公布号 KR20110112074(A) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 KR20100031477 申请日期 2010.04.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 AHN, YO HAN;KIM, JIN HO;KIM, BUM SOO
分类号 H01L21/22;H01L21/205 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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