用于连续材料的等离子处理设备

摘要

本发明涉及一种用于连续材料(1)的等离子处理的设备，包括至少一个可抽真空的放电室(3a)，连续材料(1)可以穿过该放电室被连续运送，其中供能装置(30)将放电能输送到放电路径(G)，所述放电路径界定于各放电室的外电极(5，51-57)与作为内电极的连续材料之间。所述供能装置设计为以脉冲形式释放放电能的固有电流源，该电流源包括至少一个用作储能元件的电感(32)，所述储能元件和与之配属的放电路径(G)相连，或和与之配属的多个放电路径依次相连。该设备分别大大地提高了能量转换和处理的均一性，并且能够处理受污染并非常热的连续材料。能够使多个放电室串联并且不与连续材料接触，由此可以进行敏感的物理等离子处理。通过围绕连续材料(1)施加强磁场(M)，功率的转换以及处理的均一性得到进一步提高。

主权项

一种用于连续材料的等离子处理设备，包括至少一个可抽真空的放电室(3a)，连续材料(1)被连续地运送穿过该放电室，各放电室(3a)具有外电极(5，51‑57)，所述的外电极相对连续材料电绝缘设置，还包括用于设定至少一个放电室内的气氛的装置和用于将放电能输送到放电路径(G)的供能装置(30)，所述的放电路径界定于各个独立的放电室的外电极与作为内电极的连续材料之间，其特征在于，供能装置(30)是一个以脉冲形式释放放电能的固有电流源，该电流源设置有至少一个用作储能元件的、保持放电电流持续恒定的电感(32)，所述储能元件和与之配属的放电路径(G)相连，或依次和与之配属的多个放电路径相连。