蓝宝石衬底片精磨研磨液及其配制方法

摘要

本发明公开了一种蓝宝石衬底片精磨研磨液，由金刚石粉、水和悬浮液组成，金刚石粉、水和悬浮液的重量比＝1∶10∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。本发明由于采用了上述技术方案，所得研磨液均匀度好，利于研磨，可使加工结束后的晶片表面粗糙度大为改善，且减少了塌边的产生，大大提高加工效率，使得晶片平整度大为提高。

主权项

蓝宝石衬底片精磨研磨液，其特征在于：由金刚石粉、水和悬浮液组成，金刚石粉、水和悬浮液的重量比＝1∶10∶1，所述悬浮液由分散剂、悬浮剂和防锈剂组成，分散剂、悬浮剂和防锈剂的重量比＝2∶5∶1，所述分散剂为高分子有机醇，所述悬浮剂为高分子化合物，所述防锈剂为碱。