| 发明名称 | 可旋转可加热放置工具和包括这种放置工具的芯片焊接机 | ||
| 摘要 | 一种可在垂直于衬底的z轴方向上移动的放置工具，包括：芯片保持元件，保持元件包括加热元件；保持元件的容器，容器相对于z轴可旋转地安装在放置工具处并包括由热绝缘材料制成的绝缘体；容器的驱动装置，驱动装置能够使容器绕z轴旋转；冷却流体的供给装置，保持元件的容器可通过供给装置被冷却。 | ||
| 申请公布号 | CN102217053A | 申请公布日期 | 2011.10.12 |
| 申请号 | CN200980135373.7 | 申请日期 | 2009.09.08 |
| 申请人 | K&S芯片键合设备有限公司 | 发明人 | 乔齐姆·特灵克斯 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人 | 余朦;王艳春 |
| 主权项 | 一种在垂直于衬底的z轴方向上可移动的放置工具，包括：a)用于芯片的保持元件，所述保持元件包括加热元件；b)用于所述保持元件的容器，所述容器相对于z轴可旋转地安装在所述放置工具处并包括由热绝缘材料制成的绝缘体；c)用于所述容器的驱动装置，所述驱动装置能够使所述容器绕z轴旋转；以及d)冷却流体的供给装置，用于所述保持元件的所述容器可通过所述供给装置被冷却。 | ||
| 地址 | 瑞士伯格 | ||