被处理体的支撑机构、支撑方法及搬运系统

摘要

本发明提供一种被处理体的支撑机构及支撑方法，能够通过使支撑机构的设置空间极小化而有利于处理装置整体的小型化，还能够显著地降低在与搬运手臂之间移放时所发生的被处理体的位置偏移。具体为，一种被处理体的支撑机构，其特征在于，具备N组(N是至少3以上的整数)由与被处理体(W)接触并对其进行支撑的升降销(38)、使升降销(38)升降的马达(100)、驱动马达(100)的驱动控制装置(200)组成的单元，N组单元各自的驱动控制装置(200)与其它单元的驱动控制装置(200)独立，并驱动各自单元的马达(100)。

主权项

一种被处理体的支撑机构，是在与搬运被处理体的搬运手臂之间交接所述被处理体的支撑机构，其特征在于，具备N组单元，N是至少3以上的整数，该单元包括：升降销，与所述被处理体接触并对其进行支撑；马达，使所述升降销升降；及驱动控制装置，驱动所述马达，所述N组单元各自的所述驱动控制装置与其它单元的所述驱动控制装置独立，并驱动各自单元的所述马达。