气体激光装置

摘要

一种气体激光装置，具有沿气体流路使激光气体循环的送风机；检测根据送风机的转速变化的、气体流路中的激光气体的气体压力的压力检测部；向气体流路供给激光气体以及从气体流路中排出激光气体的气体供排部；指令暂时停止激光振荡器的激光振荡的指令部；和根据来自指令部的指令控制送风机以及气体供排部的控制部。控制部在由指令部指令暂时停止前，以预定转速使送风机旋转，并且控制气体供排部使压力检测部检测的气体压力成为第一目标气体压力，当由指令部指令了暂时停止时，减低送风机的转速或者停止旋转，并且控制气体供排部使压力检测部检测的气体压力成为与送风机旋转时的第一目标气体压力对应的第二目标气体压力。

主权项

一种气体激光装置，其特征在于，具有：流路形成部(10)，其形成激光气体循环的气体流路；送风机(30)，其使激光气体沿上述气体流路循环；激光振荡器(20)，其把在上述气体流路中流动的激光气体作为激励介质振荡产生激光；激光器电源(24)，其向上述激光振荡器供给用于激励激光气体的电力；压力检测部(33)，其检测根据上述送风机的转速而变化的、上述气体流路中的激光气体的气体压力；气体供排部(50，51，60，61，62)，其向上述气体流路供给激光气体以及从上述气体流路排出激光气体；指令部(75)，其指令暂时停止上述激光振荡器的激光振荡；和控制部(70)，其根据来自上述指令部的指令，控制上述送风机以及上述气体供排部，上述控制部在由上述指令部指令暂时停止前，控制上述送风机以预定转速使上述送风机旋转，并且控制上述气体供排部使通过上述压力检测部检测出的气体压力成为第一目标气体压力，当由上述指令部指令了暂时停止时，上述控制部控制上述送风机以便降低上述送风机的转速或者使上述送风机停止旋转，并且控制上述气体供排部使通过上述压力检测部检测出的气体压力成为与送风机旋转时的上述第一目标气体压力对应的第二目标气体压力。