| 发明名称 |
Method and system for calibrating a micro-electromechanical system (MEMS) based sensor using tunneling current sensing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1942348(B1) |
申请公布日期 |
2011.10.12 |
| 申请号 |
EP20070123722 |
申请日期 |
2007.12.19 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC COMPANY |
发明人 |
ANDARAWIS, EMAD ANDARAWIS;BERKCAN, ERTUGRUL |
| 分类号 |
G01R15/20;B81B3/00;G01R33/028;G01R35/00 |
主分类号 |
G01R15/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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