| 摘要 |
<p>본 발명은 박막 트랜지스터 및 캐패시터를 포함하는 유기전계발광 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 기판 상에 게이트 전극 및 하부 전극을 형성하는 단계, 게이트 전극 및 하부 전극을 포함하는 상부에 제 1 절연층을 형성하는 단계, 게이트 전극 상부의 제 1 절연층 상에 산화물 반도체로 활성층을 형성하고, 하부 전극 상부의 제 1 절연층 상에 산화물 반도체로 상부 전극을 형성하는 단계, 활성층 및 상부 전극을 포함하는 상부에 제 2 절연층을 형성하는 단계, 제 2 절연층 상에 활성층과 연결되는 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계, 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 상부에 유기물로 제 3 절연층을 형성하는 단계, 제 3 절연층을 패터닝하여 소스 전극 또는 드레인 전극을 노출시키는 단계, 수소(H)를 포함하는 세정액으로 세정하는 단계, 제 3 절연층 상에 소스 전극 또는 드레인 전극과 연결되는 애노드 전극을 형성하는 단계, 애노드 전극을 포함하는 상부에 화소 정의막을 형성한 후 발광영역의 애노드 전극을 노출시키는 단계, 노출된 애노드 전극 상에 유기 발광층을 형성하는 단계, 및 유기 발광층 상에 캐소드 전극을 형성하는 단계를 포함한다.</p> |
