| 发明名称 | 表面活性剂/消泡剂混合物用于增强硅基板的金属负载及表面钝化的应用 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于将至少一个材料层从其上具有该材料层的不合格微电子器件结构移除的移除组合物及方法。该移除组合物包括氢氟酸。该组合物在不损坏待保留层的同时实现待移除材料的实质移除以回收、再加工、重复利用和/或再使用该结构。 | ||
| 申请公布号 | CN102217042A | 申请公布日期 | 2011.10.12 |
| 申请号 | CN200980146332.8 | 申请日期 | 2009.10.01 |
| 申请人 | 高级技术材料公司 | 发明人 | 迈克尔·B·科赞斯基;江平;查尔斯·贝奥;米克·贝耶罗帕弗里克 |
| 分类号 | H01L21/306(2006.01)I;H01L21/3063(2006.01)I;H01L21/301(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/306(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 刘慧;杨青 |
| 主权项 | 移除组合物，其包含至少一种蚀刻剂、至少一种表面活性剂/聚合物源、水及任选的至少一种消泡剂。 | ||
| 地址 | 美国康涅狄格州 | ||