| 发明名称 | 金属-绝缘体-金属电容器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在集成电路电介质堆叠中形成的金属-绝缘体-金属电容器。提供一种线-板-线电容器，其交替包含金属板的层和包含直线或者带角度的交替极性平行线的层。提供一种分割板电容器，其具有在层内和层之间极性交替的金属板。线-板-线和分割板电容器可以呈现减少的寄生感性耦合。线-板-线电容器和金属-绝缘体-金属电容器的电容由具有竖直电场的层间电容分量的贡献比具有水平电场的水平层内电容分量的贡献大。 | ||
| 申请公布号 | CN102217068A | 申请公布日期 | 2011.10.12 |
| 申请号 | CN200980145905.5 | 申请日期 | 2009.11.03 |
| 申请人 | 阿尔特拉公司 | 发明人 | S·陈;J·T·瓦特;M·C·赤安 |
| 分类号 | H01L27/108(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/108(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人 | 赵蓉民 |
| 主权项 | 一种在集成电路中的电介质堆叠中形成的电容器，包括：具有第一极性的金属线和具有第二极性的金属线，其中所述金属线以交替极性的顺序布置；以及至少一个金属板。 | ||
| 地址 | 美国加尼福利亚州 | ||