一种光刻机对准信号多通道采集校准装置

摘要

本发明公开了一种光刻机对准信号多通道采集校准装置，包括：光电传感器，将经过调制的光强信号转换为调制电流信号；前置放大器，将调制电流信号转换为调制电压信号；可变增益放大器，将调制电压信号调整至设定幅值；SS信号校准器，校准可变增益放大器所产生的SS信号并将其输出；带通滤波器，滤除调制电压信号中的直流成分和其它干扰成分；解调器，用参考信号对调制电压信号进行解调；低通滤波器，滤除解调器输出的信号中的调制频率成分。通过这种校准装置，提高了各通道SS信号的一致性，且一次调整可以长期有效，简化了后期信号处理流程。

主权项

一种光刻机对准信号多通道采集校准装置，其特征在于，包括：光电传感器，用于将经过调制的光强信号转换为调制电流信号；前置放大器，用于将所述调制电流信号转换为调制电压信号；可变增益放大器，用于将所述调制电压信号调整至设定幅值；输入信号强度信号校准器，用于校准所述可变增益放大器所产生的输入信号强度信号并将其输出，所述输入信号强度信号校准器包括：放大器，该放大器的负输入端经由第一电阻器接收来自所述可变增益放大器的输入信号强度信号；第二电阻器和第三电阻器，连接于该放大器的负输入端和输出端之间，其中第三电阻器为可调电阻器；串联连接于正、负电源之间的第四、第五和第六电阻器，其中第五电阻器为可调电阻器，第五电阻器的可调接线端连接到该放大器的正输入端；带通滤波器，用于滤除所述调制电压信号中的直流成分和其它干扰成分；解调器，用参考信号对所述调制电压信号进行解调；低通滤波器，用于滤除所述解调器输出的信号中的调制频率成分。