发明名称 Rotation-type decoupled microelectromechanical (MEMS) gyroscope
摘要
申请公布号 EP1335187(B1) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 EP20030002837 申请日期 2003.02.07
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 JEONG, HEE-MOON;KIM, JUN-O;LEE, BYEUNG-LEUL;LEE, SANG-WOO
分类号 G01C19/56;B81B5/00;G01P9/04 主分类号 G01C19/56
代理机构 代理人
主权项
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