发明名称 METHOD OF DEPOSITING LOCALIZED COATINGS
摘要
申请公布号 EP2132770(B1) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 EP20080735767 申请日期 2008.04.03
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES 发明人 REMIAT, BRUNO;VANDROUX, LAURENT;SOUCHE, FLORENT
分类号 H01L21/033;H01L21/027 主分类号 H01L21/033
代理机构 代理人
主权项
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