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发明名称
BATCH TYPE ALD
摘要
申请公布号
KR20110111884(A)
申请公布日期
2011.10.12
申请号
KR20100031194
申请日期
2010.04.06
申请人
SHIN, WOONG CHUL
发明人
SHIN, WOONG CHUL;CHOI, KYU JEONG
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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