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发明名称 GAS DIFFUSION DESK FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS AND CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20110111770(A) 申请公布日期 2011.10.12
申请号 KR20100031014 申请日期 2010.04.05
申请人 SFA ENGINEERING CORP. 发明人 YOO, WUN JONG;JANG, SANG LAE;KIM, JOON SOO;PARK, SANG TAE;KIM, YOUNG MIN
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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