用于电弧源的点火装置

摘要

本发明涉及用于电弧源的点火装置，即用于在真空覆层设备中点火电弧蒸发器的大电流放电的点火装置。利用机械地接通和断开在阴极与阳极之间的接触。该接触利用在强制轨迹上活动的点火销建立。由于强制轨迹可以使点火销利用简单的机械驱动装置移动到免受覆层的驻停位置并且还用于点火第二靶。

主权项

一个电弧源具有第一靶和第二靶，其中第一和第二靶基本位于第一平面里面，并且在第一靶和第二靶上设有用于点火火花的点火装置，其中该点火装置包括这样的活动装配的触发销，使用于使触发销的销顶部向第一靶的顶面和第二靶的顶面运动的机构，其特征在于，所述用于执行运动的机构包括一个由直线驱动装置或旋转驱动装置的组件组成的驱动装置并且该驱动装置这样与导向机构共同作用，使所述销顶部在驱动情况下在强制轨迹上运动，该强制轨迹相切和/或相交两个靶。