发明名称 |
液体材料气化装置 |
摘要 |
一种气化装置,具有:用于将处于液态或气液混合态的原料导入的导入口(P1);设在该导入口(P1)下游的、将所述原料气化的气化部(3);以及将在该气化部(3)气化的原料导出的导出口(P2),将所述气化部(3)做成由雾状喷出所述原料的喷嘴(31)和与该喷嘴(31)的下游连接设置的加热流路(32)构成的流路状结构,并将多个气化部(3)并列设置在所述导入口(P1)和导出口(P2)之间,而且使各气化部互相独立并使所述原料流过各气化部。采用该气化装置,能防止原料的劣化、减少残渣,并能减低闭塞的风险。 |
申请公布号 |
CN101523572B |
申请公布日期 |
2011.10.12 |
申请号 |
CN200780037071.7 |
申请日期 |
2007.10.05 |
申请人 |
株式会社堀场STEC |
发明人 |
西川一朗;河野武志 |
分类号 |
H01L21/31(2006.01)I;B01J7/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/31(2006.01)I |
代理机构 |
上海市华诚律师事务所 31210 |
代理人 |
黄依文 |
主权项 |
一种气化装置,具有:用于将处于液态或气液混合态的原料导入的导入口;设在该导入口下游的、将所述原料气化的气化部;以及将在该气化部气化的原料导出的导出口,其特征在于,将所述气化部做成由雾状喷出所述原料的喷嘴和设置在该喷嘴下游的加热流路构成的流路状结构,该喷嘴和该加热流路被连续的内周面无缝地覆盖,并将多个气化部并列设置在所述导入口和导出口之间,而且各气化部互相独立地使所述原料流过。 |
地址 |
日本国京都府 |