主权项 |
一种测量无空气球尺寸之系统,适用于具有一打线接合工具及一电火炬(EFO)装置的一打线机,该系统包括:一成像器,配置在一第一影像板上方;一棱镜,配置在该成像器下方;至少一透镜,配置在一第一光路径中的该第一影像板及该棱镜之间,该至少一透镜系配置在一第二光路径中的该棱镜及该成像器之间,且该第二光路径系与该第一光路径不同,其中,位于该打线接合工具的一较低部分上的一无空气球的一影像,会经由该棱镜及该至少一透镜,提供给该成像器;以及一处理器,与该成像器互相通讯,且该处理器系决定该无空气球的尺寸,并且提供至少一控制讯号给该EFO装置,藉以控制后续无空气球的尺寸。 |