发明名称 供石墨晶舟用之顶销
摘要
申请公布号 TWM413969 申请公布日期 2011.10.11
申请号 TW100209158 申请日期 2011.05.20
申请人 昱晶能源科技股份有限公司 苗栗縣竹南鎮新竹科學園區科北一路21號 发明人 黄俊钦 苗栗县竹南镇新竹科学园区科北一路21号;彭秋宪;刘得俊 苗栗县竹南镇新竹科学园区科北一路21号
分类号 H01L21/683;C30B25/12 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人 蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项 一种顶销,供一石墨晶舟使用,该石墨晶舟用以承载一晶片,该顶销包含:一本体部,用以与晶舟组合,并承载该晶片;一颈部,与该本体部连接,用以供该晶片之边缘抵靠;以及一头部,与该颈部连接,用以限制该晶片远离该本体部之移动,其中当该晶片之边缘抵靠该颈部时,该头部相对该晶片具有一遮蔽区域,并且该遮蔽区域之面积与该晶片之面积的比值为0.0001~0.0004。
地址 苗栗县竹南镇新竹科学园区科北一路21号