发明名称 |
供石墨晶舟用之顶销 |
摘要 |
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申请公布号 |
TWM413969 |
申请公布日期 |
2011.10.11 |
申请号 |
TW100209158 |
申请日期 |
2011.05.20 |
申请人 |
昱晶能源科技股份有限公司 苗栗縣竹南鎮新竹科學園區科北一路21號 |
发明人 |
黄俊钦 苗栗县竹南镇新竹科学园区科北一路21号;彭秋宪;刘得俊 苗栗县竹南镇新竹科学园区科北一路21号 |
分类号 |
H01L21/683;C30B25/12 |
主分类号 |
H01L21/683 |
代理机构 |
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代理人 |
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼 |
主权项 |
一种顶销,供一石墨晶舟使用,该石墨晶舟用以承载一晶片,该顶销包含:一本体部,用以与晶舟组合,并承载该晶片;一颈部,与该本体部连接,用以供该晶片之边缘抵靠;以及一头部,与该颈部连接,用以限制该晶片远离该本体部之移动,其中当该晶片之边缘抵靠该颈部时,该头部相对该晶片具有一遮蔽区域,并且该遮蔽区域之面积与该晶片之面积的比值为0.0001~0.0004。 |
地址 |
苗栗县竹南镇新竹科学园区科北一路21号 |