蚀刻废液之回收装置

主权项

一种蚀刻废液之回收装置，系包括有：一个电镀槽，设有以薄膜分隔之阴、阳极室，以及备有用以进行电镀还原反应之阴极电极与氧化反应之阳极电极，其阴极室系用以容置含有铜离子之氯化铁蚀刻废液；一组过滤器，配合用以将阴极室所析出的铜与氯化亚铁溶液分离；一输送件，将过滤器所过滤之氯化亚铁导入阳极室中。