| 主权项 |
一种均热板测漏设备，包括：一载台，该载台具有一容置区及一工作区；一真空装置，设于该容置区内，该真空装置设有一真空帮浦及一真空缓冲桶；至少一测漏装置，系由一固定座设于该工作区上方，该测漏装置设有一真空管路组、一真空阀、一除气测漏头及一感测元件，该真空管路组具有一第一端、一第二端与一延伸部，该第一端穿设过该固定座并与该真空缓冲桶连接，该第二端连接该真空阀之一端，该真空阀另一端连接该除气测漏头，该感测元件设于该延伸部内；一控制装置，设于该容置区内一侧，用以控制该真空装置之作业参数及检视该感测元件；以及至少一操作装置，设于该载台一侧方，该操作装置与该控制装置电性连结，用以控制该真空装置与该测漏装置作动。 |
