晶圆输送装置

主权项

一种晶圆输送装置，该输送装置系供置放一晶圆盒，并摆设于邻近制程机台处，而该输送装置系包括：一承载机台，该承载机台系界定有一供置放晶圆盒之待置区；及一机械臂，该机械臂系枢设于该承载机台，且以弧线方式摆动搬运该晶圆盒至该制程机台。