atmospheric pressure system for flat panel display device and manufacturing method using thereof

摘要

그 결과 플라즈마의 발생을 비롯해서 기판의 표면처리공정 중에 대량으로 소모되는 N, O를 대기 중에서 직접적으로 취득 및 이용할 수 있는 잇점이 있다.