发明名称 Low-cost double-structure substrates and methods for their manufacture
摘要
申请公布号 US8035163(B2) 申请公布日期 2011.10.11
申请号 US20090470253 申请日期 2009.05.21
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 NGUYEN BICH-YEN;MAZURE CARLOS
分类号 H01L29/66;H01L21/30;H01L21/46 主分类号 H01L29/66
代理机构 代理人
主权项
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