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发明名称 WATER-COOLED ELECTRODE FOR PLASMA CLEANING
摘要 <p>본 발명에 따른 플라즈마 처리용 전극은 냉각효율을 극대화 시킬 수 있어서 전극의 수명연장 및 피처리물의 불량발생을 최소화 할 수 있는 효과가 있다.</p>
申请公布号 KR101072345(B1) 申请公布日期 2011.10.11
申请号 KR20090015305 申请日期 2009.02.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/3065 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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