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<p>(해결 수단)유전체로 이루어지는 방전 용기에 엑시머 생성 가스가 봉입되고, 한 쌍의 전극이 구비되고, 상기 한 쌍의 전극 간에는 두 개의 유전체 부재가 개재하여 이루어지고, 상기 한 쌍의 전극에 고전압이 인가되어 방전하는 엑시머 램프에 있어서, 한쪽의 유전체 부재에는 다른 쪽의 유전체 부재를 향해서 연재하는 지지 부재를 가지며, 상기 지지 부재와 상기 한쪽의 유전체 부재가 접촉하는, 상기 지지 부재 또는 상기 다른 쪽의 유전체 부재의 부위에, 완충재를 구비한 것을 특징으로 하는 엑시머 램프로 한다.</p> |
