| 摘要 |
<p>본 발명은 발광 다이오드의 질화갈륨층을 요철 구조로 패터닝함으로써, 적층 형성되는 활성층의 면적을 증대하여 광효율을 향상시킨 발광 다이오드 및 그 제조방법을 개시한다. 개시된 본 발명은 사파이어 기판 상에 버퍼층을 형성하는 단계; 상기 버퍼층 상에 저속 성장 질화갈륨층을 형성하는 단계; 상기 저속 성장 질화갈륨층 상에 제 1 질화갈륨층을 형성하는 단계; 상기 제 1 질화갈륨층 상에 포토레지스트를 도포한 다음, 이를 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계; 상기 패터닝된 포토레지스트를 따라 상기 제 1 질화갈륨층을 식각하는 단계; 상기 제 1 질화갈륨층 상에 제 2 질화갈륨층을 형성하는 단계; 상기 제 2 질화갈륨층 상에 활성층을 형성하는 단계; 및 상기 활성층 상에 제 3 질화갈륨층을 형성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
