MULTI-GRAY SCALE PHOTOMASK AND PATTERN TRANSFER METHOD USING THE SAME

摘要

다계조 포토마스크는, 투명 기판(21) 상에 형성된, 노광광을 차광하는 차광막(23)과, 상기 노광광을 일부 투과시키는 반투과막(22)에 의해, 투광 영역, 차광 영역 및 반투광 영역을 갖는 전사 패턴을 구비한다. 상기 반투광 영역에서의 상기 노광광에 대한 실효 투과율의 레인지가 2.0％ 이하이다.