发明名称 MASUREMENT SYSTEM FOR EXTERNAL DIAMETER OF INGOT
摘要
申请公布号 KR20110111091(A) 申请公布日期 2011.10.10
申请号 KR20100030488 申请日期 2010.04.02
申请人 PNF CO., LTD. 发明人 SONG, CHANG RYONG
分类号 G01B11/08;G01B11/02;H01L21/673 主分类号 G01B11/08
代理机构 代理人
主权项
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